Specialty Gas
가스산업
특수가스·벌크가스 공급을 위한 순도 등급별 솔루션.
Specialty Gas
가스산업
암모니아·NF3·희가스 등 특수가스부터 N₂·Ar·H₂ 벌크가스까지, 순도 요구에 맞춘 제품 등급을 제공합니다.
가스 종류와 순도 요구에 따라 적합한 표면 처리와 패키징이 달라집니다. Dockweiler는 Ultron(UHP), TCC(CFOS, Clean For Oxygen Service) 등 용도별 제품 등급을 체계화하여, 특수가스부터 일반 순도 가스까지 폭넓게 대응합니다.
각 등급은 표면조도, 세정·패키징 방식, 잔류 수분/산소 기준이 명확히 규정되어 있어, 공정 요구에 맞는 최적의 선택이 가능합니다.
Key Points
핵심 포인트
특수가스
NH₃ · NF3 · Xenon 등
벌크가스
N₂ · Ar · H₂ · He · O₂
CFOS
산소 서비스 청정 등급
등급 체계
용도별 순도·패키징 규정
Specification
주요 사양
| 등급 | 제품 | 순도 | 적용 |
|---|---|---|---|
| UHP | Ultron / Ultron LTP | H₂O 200ppb급 | 특수가스 (NH₃·NF3·Xe) |
| UHP | Ultron / Ultron LTP | 1ppb O₂ · 10ppb H₂O | 정제기 후단 벌크가스 |
| CFOS | TCC / TCC LTP | 1ppm O₂ · 100ppb H₂O | OFA/CDA · UN · VN · LCHe |
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